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當(dāng)前位置：首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > 半導(dǎo)體溫控 > chiller高精度冷熱循環(huán)器
簡(jiǎn)要描述：Chiller高精度冷熱循環(huán)器PTS系列產(chǎn)品，可實(shí)現(xiàn)對(duì)設(shè)備出口溫度的精準(zhǔn)控制，控溫精度在±0.1℃以?xún)?nèi)。產(chǎn)品主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領(lǐng)域，激光、醫(yī)療和精密實(shí)驗(yàn)室溫控方案。全系列采用全直流變頻壓縮機(jī)，磁力耦合泵，電子膨脹閥節(jié)流裝置，西門(mén)子控制器，壓縮機(jī)，產(chǎn)品穩(wěn)定性高。循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱管、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、管道等組成。控制系統(tǒng)采用PID控制技術(shù)，高清觸摸屏顯示，設(shè)有多項(xiàng)保護(hù)功能，確保設(shè)備安全運(yùn)行。通過(guò)機(jī)組自身的制冷與加熱，向外界輸送載熱流體，滿(mǎn)足工藝條件要求。
產(chǎn)品型號(hào)：PTS產(chǎn)品產(chǎn)地：更新時(shí)間：2025-06-26訪(fǎng) 問(wèn) 量：20產(chǎn)品分類(lèi)
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